被抽氣體的流道依次經過主級羅茨泵、中間羅茨泵、止回閥、水環式真空泵后，抽氣工作過程結束后，經連接管道進入汽液分離器。氣液分離后，氣體上升，通過上段冷凝器后，部分冷凝介質回到汽液分離器。汽液分離器內置冷卻盤管，冷卻后補液至水環式真空泵。

　　杭州新安江工業泵有限公司設計的羅茨水環式成套真空機組具有耐腐蝕性能強，溶劑回收等特點。對整套設備設置防返流裝置和清洗閥裝置。同時采用電接點壓力表、真空表來控制羅茨真空泵的啟動和停止，最大限度的保障了羅茨泵的使用壽命。